王行不知道陆逸明说的是不是真心话，但是这其实不重要，只要陆逸明真的能够投资把这个科技馆建起来，那比什么都强。
“小包啊，你看看丁高、母光、周琨他们三个人今天在不在单位，在的话就把他们叫过来。”
“好的。”
包梓钧微微点头，然后离开了。
过了十几分钟，他带着三个人进来了。
丁高是惯性技术和精密仪器专家，长期从事制导武器的陀螺仪、加速度计、惯性平台系统等的研制工作。
母光则从事光学和应用光学、图像科学、光学设计及光学信息处理技术的研究。1983年研究成功用黑白胶片折摄彩色图像的技术。
周琨是激光与光电子技术专家，国家光学学会理事长，从事的是激光与光电子学的研究。
经过介绍，陆逸明才值钱眼前的这些都是专业领域的顶级大老，顿时客气得不得了。
“各位老师好。”
这三人，那可都是院士级别的，要不是王洪生带陆逸明过来，陆逸明基本上没什么机会能够接触到他们。
面对陆逸明这个亚洲首富，三个人也很客气。毕竟他们搞研究的，需要大老投钱啊。光靠国家拨款，做实验都够呛。
一番交流之下，陆逸明开口说道：“各位，我打算成立夏国光学工程学会，请你们三位，还有王老一起当这个工程学会的顾问，不知道几位意下如何？”
在发达国家，成立各种学会和工会是非常普遍的事情，几乎各行各业都有。陆逸明也打算效彷。
一旦有了学会，那就等于是有了一个组织，资源和人才能够整合流通，遇到难题也能一致对外。
然而，丁高他们对陆逸明的这个提议，却似乎并不感冒。
“这个恐怕我们没时间啊，工作太忙了。”
“是啊，我手里面现在还有好几个研究课题呢，也没精力再去参与其他的事情啊。”
对于他们这种层次的人来说，手里面那是要承担国家任务的，哪儿还有空去管什么学会？
这也是夏国这类专业组织少之又少的原因。
真正有本事的人都太忙了，而这种学会没有行业大老牵头又做不起来。
面对三个人的推辞，陆逸明解释说：“三位，你们误会了，这个学会绝对不会占用你们的时间，你们不用来打卡上班，就是挂个名而已，学会我会派专业的团队进行管理。每个月的工资都会直接打到各位的银行账户里，绝对不会有任何麻烦。”
听陆逸明这么一说，三个人都用奇怪的眼神看着陆逸明。
那眼神里面就三个字。
“你图啥？”
王行都忍不住直接开口询问了起来：“你成立这个学会是为了什么呢？”
陆逸明笑着说：“成立光学工程学会的目的，是为了推动咱们夏国的光学产业发展，我虽然是个外行，但也想为我们国家的光学研究出一份力。”
见陆逸明如此诚意满满，王行和其他三位院士，便也不再拒绝，只能答应了这个邀请。
每个月啥事也不用干，白领一份工资也是挺好的。
而对于陆逸明来说，花这个钱是一点也不亏的。
毕竟搞光刻机，若是遇到了什么难题，厚着脸皮找几位大老“顾问”一下，你们总不能对我的问题弃之不顾吧？
搞科研攻关，花钱能解决的，对陆逸明而言，那都是小事了。
关键时刻找不到能解决问题的人，那才是真正的大麻烦。
过了几天，陆逸明出资给夏科院盖光学科技馆的事情，很快就被人知道了。
外人都不知道实情，只觉得是陆逸明这家伙当了亚洲首富之后膨胀了，钱多到不知道怎么花，跑去盖什么科技馆，
而实际上，陆逸明之所以要满足王行的愿望盖科技馆，除了确实算是回报王行之外，还有千金买马骨的意思。
或者更加直接一点，陆逸明把这个科技馆当做是敲门砖，压根就没想过赚钱不赚钱的事情。
就好像那些个地产公司，全都热衷于搞足球队，难不成真是这些有钱的资本家对足球爱得深沉吗？
别搞笑了，每年花几个亿养着一群废材，这钱拿来养嫩模不香吗？
无非是有人喜欢，所以投其所好，有利可图罢了。
而陆逸明现在做的，也是同样的事情，比起养足球队，陆逸明对于盖科技馆其实并不怎么抵触，毕竟这也是在宣传科学嘛。
在京城待了半个月，陆逸明不是在撒币，就是在前往撒币的路上。
甚至还抽空坐飞机到了吉省，去参观了一波长青光学精密机械与物理研究所。王行是长青光机所的第一任所长，就是这个地方，在他的带领下，夏国的光学事业打下了坚实的基础。
当然，参观不是主要的，这次过来，陆逸明是奔着挖墙脚来的。
虽然王行已经不是这里的所长了，可毕竟是祖师爷嘛。
长青光机所里的人，有一个算一个，哪个不是王行的徒子徒孙？
所以陆逸明是一点也没客气，直接给了林本坚一份名单，让他去挖人。
林本坚看着手里长长的名单，有些尴尬：“陆总，这些人都挖过来？”
“有多少挖多少。”
“这样不太好吧。”
“哼，有什么不好的，我花了这么多钱，难道真的是为了做好人好事吗？总得让我回本吧？总之你放心大胆的挖人，待遇什么的，直接摆出来就是，我看谁敢哔哔。反正只要我们不尴尬，尴尬的就是别人。”
陆逸明说得斩钉截铁，毕竟他买路钱都掏了，总不能空手而归。
这样做的结果就是，陆逸明刚从长青光机所回到京城，长青光机所的所长贾平就打电话过来找王行告状了。
“王所，这个破晓光学也太过分了，你得帮我做主啊。”
这一嗓子，直接把王行给吓了一跳，还以为陆逸明他们背着他做了什么伤天害理的事情，连忙问道：“怎么了这是？”
贾平吐槽说：“王所，这个破晓光学正在疯狂从我这挖人你知道不？今天一上班我这办公室里放着十几份辞职信，我人都麻了！”
听说是挖人，王行却是笑了：“陆逸明正在干一件利国利民的大事，让他挖几个人就挖几个人呗，又掉不了几块肉。”
贾平叫苦道：“老所长你有所不知，陆逸明他哪里是挖几个人啊，按照他那个挖法，咱们光机所都快没剩下几个人了，总不能到这就彻底断了根吧？光机所以后还开不开啦？”
一番了解之后，王行才无语的发现，陆逸明挖人有多很，直接开出十倍乃至二十倍的薪资，只要点头，就安排在中海落户，还要送房子——至少二百平米起步的五居室。
拿这条件来考验科研工作者，哪个科研工作者顶得住这考验？
因此光机所的人才，从带队的导师到普通的“科研狗”，都基本上被陆逸明和林本坚给拐到破晓光学去了。
】
要知道，一家研究所，最重要的财产绝不是什么仪器设备，而是能使用仪器设备的人。
仪器设备花钱，总能买得到，可人才就不是花钱能买到了。
尤其是在光机所的研究员，哪个不是在物理和数学上面极有天赋的天才？
而那些经验老道的导师，一旦被挖走，就等于让光机所失去了造血能力，从此“后继无人”了。
想当初，长青光机所刚建立时还只是一家仪器馆，之后才更名为光学精密仪器所。
而如今的所长，就是当年的一位“小同志”，他跟着王行从无到有打拼了半辈子，才有了长青光机所现在的辉煌。
不仅在国内是首屈一指的光学科研机构，就算放眼世界，也绝不是什么无名之辈。
至少偶尔开开国际光学学术会议什么，也是可以接受到邀请的。
可眼下陆逸明居然打起了光机所的主意，挥舞着锄头疯狂挖光机所的墙脚，这就让所长有点不能忍了。
得知这一情况，王行哪里还坐得住，当即打电话把陆逸明给叫了过来。
“我刚刚接到长青光机所贾所长的电话，你这家伙，拿着鸡毛当令箭，你这是想把光机所搬到中海去啊。”
陆逸明一听是这事儿，却是一点儿也不虚，揶揄道：“我倒是也想哦，要不……”
不等陆逸明说完，王行当即打断他说：“你还真是敢想！”
这种事，王行自然不可能答应，毕竟光机所的很多研究项目，同样非常重要。
若非陆逸明是为了搞光刻机，王行早就翻脸了。
要知道他的话可是能够上达天听的，而且长青光机所这样的国营科研机构，私营企业想要从里面挖人，谈何容易？
光是转档桉就能把你卡得死死的。
说白了，还是王行给陆逸明和破晓光学开的绿灯。
只是王行低估了陆逸明不要脸的程度，才在这上面吃了大亏。
面对吹胡子瞪眼的王行，陆逸明依旧是乐呵呵的，一脸惋惜地说道：“好吧好吧，那就这样，我不挖了，这总可以了吧？”
嘴里虽然骂得厉害，但是对于陆逸明愿意把钱投在科研领域，王行还是很高兴的，也愿意给他开后门。
因此骂完之后，转移话题说：“关于研制第四代光刻机，你有没有把握？”
前三代光刻机，可以说是继承的关系，本质上没有变，就好像从汽车诞生以来一百多年，发动机变速箱地盘三大件一样没变过。
但是陆逸明要做的第四代光刻机，却几乎完全推翻了前面三代的技术路线，就好像新能源汽车取代燃油汽车那样颠覆的改变。
所以，关于能不能成功这个事情，王行还是很关心的。
见聊起了正事，陆逸明也不再嬉皮笑脸，表情变得严肃认真起来：“把握是有的，虽然不多，但不拼一回，我不甘心。”
原本的历史上，荷国那个充斥着郁金香的国度，asml公司之所以能战胜光刻机的旧日王者尼康，靠的其实就是林本坚和沉浸式光刻技术。
这一次，林本坚已经被陆逸明给截胡过来了，asml的发展速度肯定会被拖慢，但后续怎么办，还很难说。
总而言之，这是一次机会，夏国的光刻机技术想要翻身，就必须抓住这个千载难逢的机遇。
陆逸明就和王行聊起了光刻机的发展历程。
毕竟是光学领域的专家，虽然已经退休了，但王行还是经常抽时间了解最新的技术前沿。而且作为过去那个时代的亲身经历者，王行对于光刻机的演变也有着更为深刻的了解。
王行对陆逸明说道：“第一、二代的光刻机，曝光方式基本上就是接触接近式，使用光源分别为436纳米的g-line和365纳米的i-line，接触式光刻机由于掩模与光刻胶直接接触，所以易受污染，而接近式光刻机由于气垫影响，成像精度不高。”
“我记得那时候还是六十年代初，当时的夏国太穷了，很多地方甚至在闹饥荒，大家饭都吃不饱，否则想要追赶的话，很容易就能追上。”
陆逸明点头，也觉得有些可惜：“是啊，在科研领域，没钱真是寸步难行，一步慢步步慢，导致我们今天只能花十倍乃至百倍的代价，去弥补差距。甚至遇到一些难以绕开的专利壁垒，更是只能徒呼奈何，搞科研太难了。”
“但是再难也要搞，因为今天不做，以后再做，花费的代价只会更大。”
王行对陆逸明的话十分认同，对他的决心和志气，更是极为欣赏。
“第三代为扫描投影式光刻机，利用光学透镜可以聚集衍射光提高成像质量将曝光方式创新为光学投影式光刻，以扫描的方式实现曝光，光源也改进为248纳米的krf激光，实现了跨越式发展，将最小工艺推进至180-130纳米。到了这个阶段，想要追赶就比较难了。”
陆逸明则是回答道：“其实更难的是第四代，步进式扫描投影光刻机，最具代表性的光刻机产品，1986年由asml首先推出，采用193纳米arf激光光源，实现了光刻过程中，掩模和硅片的同步移动，并且采用了缩小投影镜头，缩小比例达到5：1，有效提升了掩模的使用效率和曝光精度，将芯片的制程和生产效率提升了一个台阶。”
“如今业界普遍认为193纳米光刻无法延伸到65纳米技术节点，而157纳米将成为主流技术。然而，157纳米光刻技术遭遇到了来自光刻机透镜的巨大挑战。眼下，欧美诸多列强的众多研究者，都在157纳米浸入式光刻面前踌躇不前，而我们破晓光学已经看到了希望。”
听说破晓光学看到了突破157纳米的希望，王行顿时就激动了起来。连忙问道：“什么希望？赶紧跟我说说。”
他刚才都还在担心陆逸明这么大张旗鼓，最后能不能取得成功。
要知道，全世界研究光刻机的公司不少，而且都是欧美发达国家的高科技公司，陆逸明除了钱多之外，根本就没有任何优势。
但是科技这玩意儿，并不单单是砸钱就能够解决问题的。如果砸钱就能解决一切问题的话，那这个世界上也就不存在问题了。
可陆逸明却给他带来了惊喜，说研究已经有了希望，这可把王行给激动坏了。
不过，王行马上又反应过来，讪讪地说道：“不好意思，是我太激动了，如果涉及到你们公司的商业机密的话，那我就不问了。”
虽然心里面很好奇，但是王行做人还是懂分寸的，绝对不会倚老卖老胡搅蛮缠。
不过，陆逸明却很坦诚，说道：“王老说的哪里话？什么商业机密不商业机密的。就算是商业机密，那我也不会对你隐瞒的。若是连你这样的老一辈科学家我都信不过，这世界上还有值得信任的人吗？”
反正林本坚要搞沉浸式光刻技术这件事，就算陆逸明现在不说王行也会通过包梓钧教授这位弟子知道，迟早的事情罢了。
因此陆逸明根本就没有对王行保密的必要。相反，如果能够把这件事情对王行坦白，说不定还能够得到王行更多支持。
想到这里，陆逸明如实说道：“跟我一起来的那个林本坚，原本是tsm邰珏的资深处长，他之前曾提出了193纳米浸入式光刻的概念。按照他的理论，193纳米光波在水中的等效波长缩短为134纳米，一旦研发成功，我们就能让光刻机的精度直接超越157纳米这个极限，甚至在这一基础上，继续研究，将芯片的加工精度，推进到100纳米以下！也正是因为他的这个方案，我才决定投资他的。”
王行只是听说陆逸明要采用完全不同的方法来研究光刻机，但是具体的情况却不清楚。现在陆逸明直接说了出来，他震惊之余，更多的事欣喜。
“也就是说，如果这个方案能够走通，夏国在光刻机领域就能够实现弯道超车，进入全球第一梯队？”
陆逸明说：“是的，这个方案我已经申请专利了，只要能够做出来，我们就是世界第一！”
“小包啊，你看看丁高、母光、周琨他们三个人今天在不在单位，在的话就把他们叫过来。”
“好的。”
包梓钧微微点头，然后离开了。
过了十几分钟，他带着三个人进来了。
丁高是惯性技术和精密仪器专家，长期从事制导武器的陀螺仪、加速度计、惯性平台系统等的研制工作。
母光则从事光学和应用光学、图像科学、光学设计及光学信息处理技术的研究。1983年研究成功用黑白胶片折摄彩色图像的技术。
周琨是激光与光电子技术专家，国家光学学会理事长，从事的是激光与光电子学的研究。
经过介绍，陆逸明才值钱眼前的这些都是专业领域的顶级大老，顿时客气得不得了。
“各位老师好。”
这三人，那可都是院士级别的，要不是王洪生带陆逸明过来，陆逸明基本上没什么机会能够接触到他们。
面对陆逸明这个亚洲首富，三个人也很客气。毕竟他们搞研究的，需要大老投钱啊。光靠国家拨款，做实验都够呛。
一番交流之下，陆逸明开口说道：“各位，我打算成立夏国光学工程学会，请你们三位，还有王老一起当这个工程学会的顾问，不知道几位意下如何？”
在发达国家，成立各种学会和工会是非常普遍的事情，几乎各行各业都有。陆逸明也打算效彷。
一旦有了学会，那就等于是有了一个组织，资源和人才能够整合流通，遇到难题也能一致对外。
然而，丁高他们对陆逸明的这个提议，却似乎并不感冒。
“这个恐怕我们没时间啊，工作太忙了。”
“是啊，我手里面现在还有好几个研究课题呢，也没精力再去参与其他的事情啊。”
对于他们这种层次的人来说，手里面那是要承担国家任务的，哪儿还有空去管什么学会？
这也是夏国这类专业组织少之又少的原因。
真正有本事的人都太忙了，而这种学会没有行业大老牵头又做不起来。
面对三个人的推辞，陆逸明解释说：“三位，你们误会了，这个学会绝对不会占用你们的时间，你们不用来打卡上班，就是挂个名而已，学会我会派专业的团队进行管理。每个月的工资都会直接打到各位的银行账户里，绝对不会有任何麻烦。”
听陆逸明这么一说，三个人都用奇怪的眼神看着陆逸明。
那眼神里面就三个字。
“你图啥？”
王行都忍不住直接开口询问了起来：“你成立这个学会是为了什么呢？”
陆逸明笑着说：“成立光学工程学会的目的，是为了推动咱们夏国的光学产业发展，我虽然是个外行，但也想为我们国家的光学研究出一份力。”
见陆逸明如此诚意满满，王行和其他三位院士，便也不再拒绝，只能答应了这个邀请。
每个月啥事也不用干，白领一份工资也是挺好的。
而对于陆逸明来说，花这个钱是一点也不亏的。
毕竟搞光刻机，若是遇到了什么难题，厚着脸皮找几位大老“顾问”一下，你们总不能对我的问题弃之不顾吧？
搞科研攻关，花钱能解决的，对陆逸明而言，那都是小事了。
关键时刻找不到能解决问题的人，那才是真正的大麻烦。
过了几天，陆逸明出资给夏科院盖光学科技馆的事情，很快就被人知道了。
外人都不知道实情，只觉得是陆逸明这家伙当了亚洲首富之后膨胀了，钱多到不知道怎么花，跑去盖什么科技馆，
而实际上，陆逸明之所以要满足王行的愿望盖科技馆，除了确实算是回报王行之外，还有千金买马骨的意思。
或者更加直接一点，陆逸明把这个科技馆当做是敲门砖，压根就没想过赚钱不赚钱的事情。
就好像那些个地产公司，全都热衷于搞足球队，难不成真是这些有钱的资本家对足球爱得深沉吗？
别搞笑了，每年花几个亿养着一群废材，这钱拿来养嫩模不香吗？
无非是有人喜欢，所以投其所好，有利可图罢了。
而陆逸明现在做的，也是同样的事情，比起养足球队，陆逸明对于盖科技馆其实并不怎么抵触，毕竟这也是在宣传科学嘛。
在京城待了半个月，陆逸明不是在撒币，就是在前往撒币的路上。
甚至还抽空坐飞机到了吉省，去参观了一波长青光学精密机械与物理研究所。王行是长青光机所的第一任所长，就是这个地方，在他的带领下，夏国的光学事业打下了坚实的基础。
当然，参观不是主要的，这次过来，陆逸明是奔着挖墙脚来的。
虽然王行已经不是这里的所长了，可毕竟是祖师爷嘛。
长青光机所里的人，有一个算一个，哪个不是王行的徒子徒孙？
所以陆逸明是一点也没客气，直接给了林本坚一份名单，让他去挖人。
林本坚看着手里长长的名单，有些尴尬：“陆总，这些人都挖过来？”
“有多少挖多少。”
“这样不太好吧。”
“哼，有什么不好的，我花了这么多钱，难道真的是为了做好人好事吗？总得让我回本吧？总之你放心大胆的挖人，待遇什么的，直接摆出来就是，我看谁敢哔哔。反正只要我们不尴尬，尴尬的就是别人。”
陆逸明说得斩钉截铁，毕竟他买路钱都掏了，总不能空手而归。
这样做的结果就是，陆逸明刚从长青光机所回到京城，长青光机所的所长贾平就打电话过来找王行告状了。
“王所，这个破晓光学也太过分了，你得帮我做主啊。”
这一嗓子，直接把王行给吓了一跳，还以为陆逸明他们背着他做了什么伤天害理的事情，连忙问道：“怎么了这是？”
贾平吐槽说：“王所，这个破晓光学正在疯狂从我这挖人你知道不？今天一上班我这办公室里放着十几份辞职信，我人都麻了！”
听说是挖人，王行却是笑了：“陆逸明正在干一件利国利民的大事，让他挖几个人就挖几个人呗，又掉不了几块肉。”
贾平叫苦道：“老所长你有所不知，陆逸明他哪里是挖几个人啊，按照他那个挖法，咱们光机所都快没剩下几个人了，总不能到这就彻底断了根吧？光机所以后还开不开啦？”
一番了解之后，王行才无语的发现，陆逸明挖人有多很，直接开出十倍乃至二十倍的薪资，只要点头，就安排在中海落户，还要送房子——至少二百平米起步的五居室。
拿这条件来考验科研工作者，哪个科研工作者顶得住这考验？
因此光机所的人才，从带队的导师到普通的“科研狗”，都基本上被陆逸明和林本坚给拐到破晓光学去了。
】
要知道，一家研究所，最重要的财产绝不是什么仪器设备，而是能使用仪器设备的人。
仪器设备花钱，总能买得到，可人才就不是花钱能买到了。
尤其是在光机所的研究员，哪个不是在物理和数学上面极有天赋的天才？
而那些经验老道的导师，一旦被挖走，就等于让光机所失去了造血能力，从此“后继无人”了。
想当初，长青光机所刚建立时还只是一家仪器馆，之后才更名为光学精密仪器所。
而如今的所长，就是当年的一位“小同志”，他跟着王行从无到有打拼了半辈子，才有了长青光机所现在的辉煌。
不仅在国内是首屈一指的光学科研机构，就算放眼世界，也绝不是什么无名之辈。
至少偶尔开开国际光学学术会议什么，也是可以接受到邀请的。
可眼下陆逸明居然打起了光机所的主意，挥舞着锄头疯狂挖光机所的墙脚，这就让所长有点不能忍了。
得知这一情况，王行哪里还坐得住，当即打电话把陆逸明给叫了过来。
“我刚刚接到长青光机所贾所长的电话，你这家伙，拿着鸡毛当令箭，你这是想把光机所搬到中海去啊。”
陆逸明一听是这事儿，却是一点儿也不虚，揶揄道：“我倒是也想哦，要不……”
不等陆逸明说完，王行当即打断他说：“你还真是敢想！”
这种事，王行自然不可能答应，毕竟光机所的很多研究项目，同样非常重要。
若非陆逸明是为了搞光刻机，王行早就翻脸了。
要知道他的话可是能够上达天听的，而且长青光机所这样的国营科研机构，私营企业想要从里面挖人，谈何容易？
光是转档桉就能把你卡得死死的。
说白了，还是王行给陆逸明和破晓光学开的绿灯。
只是王行低估了陆逸明不要脸的程度，才在这上面吃了大亏。
面对吹胡子瞪眼的王行，陆逸明依旧是乐呵呵的，一脸惋惜地说道：“好吧好吧，那就这样，我不挖了，这总可以了吧？”
嘴里虽然骂得厉害，但是对于陆逸明愿意把钱投在科研领域，王行还是很高兴的，也愿意给他开后门。
因此骂完之后，转移话题说：“关于研制第四代光刻机，你有没有把握？”
前三代光刻机，可以说是继承的关系，本质上没有变，就好像从汽车诞生以来一百多年，发动机变速箱地盘三大件一样没变过。
但是陆逸明要做的第四代光刻机，却几乎完全推翻了前面三代的技术路线，就好像新能源汽车取代燃油汽车那样颠覆的改变。
所以，关于能不能成功这个事情，王行还是很关心的。
见聊起了正事，陆逸明也不再嬉皮笑脸，表情变得严肃认真起来：“把握是有的，虽然不多，但不拼一回，我不甘心。”
原本的历史上，荷国那个充斥着郁金香的国度，asml公司之所以能战胜光刻机的旧日王者尼康，靠的其实就是林本坚和沉浸式光刻技术。
这一次，林本坚已经被陆逸明给截胡过来了，asml的发展速度肯定会被拖慢，但后续怎么办，还很难说。
总而言之，这是一次机会，夏国的光刻机技术想要翻身，就必须抓住这个千载难逢的机遇。
陆逸明就和王行聊起了光刻机的发展历程。
毕竟是光学领域的专家，虽然已经退休了，但王行还是经常抽时间了解最新的技术前沿。而且作为过去那个时代的亲身经历者，王行对于光刻机的演变也有着更为深刻的了解。
王行对陆逸明说道：“第一、二代的光刻机，曝光方式基本上就是接触接近式，使用光源分别为436纳米的g-line和365纳米的i-line，接触式光刻机由于掩模与光刻胶直接接触，所以易受污染，而接近式光刻机由于气垫影响，成像精度不高。”
“我记得那时候还是六十年代初，当时的夏国太穷了，很多地方甚至在闹饥荒，大家饭都吃不饱，否则想要追赶的话，很容易就能追上。”
陆逸明点头，也觉得有些可惜：“是啊，在科研领域，没钱真是寸步难行，一步慢步步慢，导致我们今天只能花十倍乃至百倍的代价，去弥补差距。甚至遇到一些难以绕开的专利壁垒，更是只能徒呼奈何，搞科研太难了。”
“但是再难也要搞，因为今天不做，以后再做，花费的代价只会更大。”
王行对陆逸明的话十分认同，对他的决心和志气，更是极为欣赏。
“第三代为扫描投影式光刻机，利用光学透镜可以聚集衍射光提高成像质量将曝光方式创新为光学投影式光刻，以扫描的方式实现曝光，光源也改进为248纳米的krf激光，实现了跨越式发展，将最小工艺推进至180-130纳米。到了这个阶段，想要追赶就比较难了。”
陆逸明则是回答道：“其实更难的是第四代，步进式扫描投影光刻机，最具代表性的光刻机产品，1986年由asml首先推出，采用193纳米arf激光光源，实现了光刻过程中，掩模和硅片的同步移动，并且采用了缩小投影镜头，缩小比例达到5：1，有效提升了掩模的使用效率和曝光精度，将芯片的制程和生产效率提升了一个台阶。”
“如今业界普遍认为193纳米光刻无法延伸到65纳米技术节点，而157纳米将成为主流技术。然而，157纳米光刻技术遭遇到了来自光刻机透镜的巨大挑战。眼下，欧美诸多列强的众多研究者，都在157纳米浸入式光刻面前踌躇不前，而我们破晓光学已经看到了希望。”
听说破晓光学看到了突破157纳米的希望，王行顿时就激动了起来。连忙问道：“什么希望？赶紧跟我说说。”
他刚才都还在担心陆逸明这么大张旗鼓，最后能不能取得成功。
要知道，全世界研究光刻机的公司不少，而且都是欧美发达国家的高科技公司，陆逸明除了钱多之外，根本就没有任何优势。
但是科技这玩意儿，并不单单是砸钱就能够解决问题的。如果砸钱就能解决一切问题的话，那这个世界上也就不存在问题了。
可陆逸明却给他带来了惊喜，说研究已经有了希望，这可把王行给激动坏了。
不过，王行马上又反应过来，讪讪地说道：“不好意思，是我太激动了，如果涉及到你们公司的商业机密的话，那我就不问了。”
虽然心里面很好奇，但是王行做人还是懂分寸的，绝对不会倚老卖老胡搅蛮缠。
不过，陆逸明却很坦诚，说道：“王老说的哪里话？什么商业机密不商业机密的。就算是商业机密，那我也不会对你隐瞒的。若是连你这样的老一辈科学家我都信不过，这世界上还有值得信任的人吗？”
反正林本坚要搞沉浸式光刻技术这件事，就算陆逸明现在不说王行也会通过包梓钧教授这位弟子知道，迟早的事情罢了。
因此陆逸明根本就没有对王行保密的必要。相反，如果能够把这件事情对王行坦白，说不定还能够得到王行更多支持。
想到这里，陆逸明如实说道：“跟我一起来的那个林本坚，原本是tsm邰珏的资深处长，他之前曾提出了193纳米浸入式光刻的概念。按照他的理论，193纳米光波在水中的等效波长缩短为134纳米，一旦研发成功，我们就能让光刻机的精度直接超越157纳米这个极限，甚至在这一基础上，继续研究，将芯片的加工精度，推进到100纳米以下！也正是因为他的这个方案，我才决定投资他的。”
王行只是听说陆逸明要采用完全不同的方法来研究光刻机，但是具体的情况却不清楚。现在陆逸明直接说了出来，他震惊之余，更多的事欣喜。
“也就是说，如果这个方案能够走通，夏国在光刻机领域就能够实现弯道超车，进入全球第一梯队？”
陆逸明说：“是的，这个方案我已经申请专利了，只要能够做出来，我们就是世界第一！”
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