工件台又一次加热硅片，给工件做了一次坚膜，加固已经保留的光刻胶，进一步清除不需要的那部分胶以及其他成分的残留物。
坚膜完成之后，硅片被再次从头开始，开始了第二次的光刻流程，用的还是那块标准掩模。
显影完成后，二次光刻的光刻胶被固化，多余部分被清除，硅片被送到了显微镜下。
刚刚把硅片表面的清晰显微图像跳出来，马娟就语带欣喜的啊了一声。
“师兄，有了有了，能看出来，精度好高啊！”
马娟一边瞄着显微镜，一边嘴里喊着。
对于套刻精度高这一点，高振东是有所预计的，决定套刻精度的主要就是工件台，而三轧厂的一帮老师傅大发神威，将工件台的定位精度搞到了1.5μm。
而东北光学所的光学系统图形畸变只有1个μm不到，这两者结合起来，套刻精度绝对差不了。
不过估计归估计，在没看到真正结果那一天，谁都不敢彻底把心放下来。
听见马娟的话，高振东哈哈大笑：“来来来，我看看。”
马娟从显微镜下让开，高振东把眼睛凑到显微镜的目镜外，显微镜里甚至能看到他自己的眼睫毛，但他现在明显没有闲心观察自己的睫毛是否好看，急着往视场里看去。
显微镜里，两次光刻的痕迹非常明显，一条叠在另一条上面，重合度非常高。
两次光刻的痕迹，两边各露出来一小部分，这部分的单边宽度，基本上就是套刻误差了，粗粗看去，目测连整个线宽的一小半都不到。
“好！太好了！马娟，你们选取一些典型点位，要覆盖到整个硅片，马上做个比较全面的测量比较。”
另外一个试验人员走了上来，和马娟一起，一边找点，一边测量，一边记录。
时间的相对论在这里体现得淋漓尽致，马娟她们觉得时间过得很快，而等结果的高振东等人觉得时间过得太慢了。
又快又慢的一段时间过去后，试验人员在计算机面前坐下来，开始将数据输入计算机，这种简单统计分析，他们都是直接在源代码里敲数据。
处理算法的C代码早就写好了，现在他们就是在往一个数组里填数据而已。
这种办法，好就好在处理算法可以随时根据需要修改。
键盘声啪啪作响，现场人员的心情反而安定下来，从刚才他们测量中报的数来看，这个结果差不了。
随着最后一个数据输入完毕，马娟启动了编译-运行指令。
算法过于简单，没有带来任何调试上的麻烦，很快，屏幕上就跳出了一个数字。
编过临时程序的人都懂，怎么简单怎么来，这个数字甚至不带任何单位。
“1.97”。
其实小数点后一位就够了，那个没有写出来的单位，是μm。
2μm！
虽然早有所料，但是当这个数字跳出来的时候，高振东还是哈哈大笑了起来。
“哈哈哈……好！太好了！”
这个套刻精度，已经超出了当前所需，PMOS套刻次数少，其实不严格的说，10μm的分辨率下，5μm的套刻精度都是够用的。
现在，高振东可以直接宣布，我们的第一代PMOS工艺集成电路，线宽是10μm。
这个线宽听起来不咋样，但是举个例子就知道它的用处了，DJS-59的原型，那片金色的C8008，它的工艺就是10μm-PMOS！那一小片芯片上，晶体管数量是6000+。
而首个4Kbit（512Byte）的DRAM，工艺是8μm-NMOS，虽然是NMOS，但是并不意味着只有NMOS才能用于和NMOS的最大区别是开关方向相反，而且NMOS开关速度比PMOS要快2.5倍左右。
但是这是61年，PMOS慢点又不是不能用。
可惜那两片芯片出现的时候，高振东还没法锁定兑换的能力，但是这没有关系，还是那句话，行业初期，主打一个简单凑合能用就行，设计的核心难度不大。
DJS-59的晶体管的电路，其实基本上和C8008内是一模一样的，现在高振东要做的，就是把这个结构还原到光刻掩模上去。
不过这是个力气活儿，高振东一个人是搞不成的，太浪费时间了，这个事情，可就落在京城工大这一届的部分大四学生头上了。
原本高振东的考虑是光刻机不敢太乐观，初期预计是50μm左右，后来看到三轧厂的老师傅和东北光学所如此给力，才把SZ61XXX系列芯片头三片改为了20μm。
现在扎扎实实的10μm有望，那不得乐死，就算得先教半年学生，再画上个一年两年的图，那也是一个字儿——值！
而且有了这些基础，能搞的事情，可就多了，比如自动化人的最爱——单片机。
不过不论是CPU化的DJS-59也好，还是单片机也好，都还需要时间，至少得等两样东西。
——集成电路工艺的真正成熟、芯片的完整设计。
尤其是单片机，这东西看起来和通用CPU差不多，但是在当前的运算速度之下，最好使用另外一个结构——哈佛结构。
相对冯.诺依曼结构来说，这个结构的效率更高一些。
这些都是后话，现在的当务之急，是把光刻机投入到集成电路工艺中去，尽快让整条集成电路的工艺成熟，至少先生产出一定数量的基础数字逻辑芯片，让大家用起来。
别看这东西基本全手工，但是产量在这个年代来说并不低了，当然，和后世全自动光刻生产线没得比。
按照一片逻辑电路芯片使用5mm*5mm硅片面积来粗略计算的话，一片130mm晶圆能生产出500枚芯片来。
别看5*5这个面积很小，实际上在10μm工艺下，它几乎能生产类似74全系列的数字逻辑芯片了，大部分数字逻辑芯片最耗费硅片面积的部分，其实是它的线路引出的压接点。
如果说CPU、单片机都还有那么一点遥远的话，那对于大部分常用数字逻辑电路来说，到了这个阶段，制约它的就主要是芯片的设计速度有多快了，毕竟数字逻辑电路这个家族实在是有些庞大。
对于这个事情，高振东倒是早有安排。
穿着防护服，又在超净室内，这让高振东不太方便宣布样机已经成功。
看着玻璃窗外焦急的全体光刻机课题组同志，不忍他们久等的高振东灵机一动，拿起纸笔，写下了三个大字。
“成功了！”
高振东拿起这张纸，对着超净室内和外面的所有同志打着转展示了一圈。
如果说超净室内的同志对于结果已有所预料而显得镇定一些的话，那窗外那批因为信息差而处于未知之中的同志，看见这三个字就欢呼雀跃起来。
“成了成了！”
“终于成功了！”
“这个东西很重要吧，你看高总工都那么着紧。”
“那可不，我估计这个啊，至少又是一个科技奖。”
“没想到我车了一辈子的铁疙瘩，临老来，还能搞科学了。”
“我也没想到啊，叮叮咣咣了一辈子，到现在我都不相信这个东西里面也有我的份儿。”
“你这就是心太小了，你没听上面说嘛，咱们有的是力量。”
“是是是，你心大，那特么你手抖个啥？几十年的老伙计了，谁还不知道谁啊。”
外面的同志们说着笑着，不知道是谁起的头，慢慢的齐声唱起了一首歌来。
“咱们工人有力量，嘿，咱们工人有力量……”
“……”
“改造得世界变呀么变了样，哎嘿！”
“……”
“为了求解放！哎~嘿！哎~嘿！”
“……”
歌声中有男有女，有老有少，有拿铁锤的，也有拿书本的，有的站在机器边，有的身处电脑前……
简洁明快，铿锵有力的歌声在光刻机试制车间中响起，声震四壁。
随着最后一声“嘿！”落下，所有的同志站在一起，看着高振东，热烈鼓起掌来。
高振东满脸喜色，等大家稍微安静下来，他示意试验人员关机收尾，走进隔间脱下防护服。
从超净室中走出来后，高振东安排了一位同志去张罗吃饭的事情，规矩不能破，哪怕只能吃糠咽菜，也得聚一顿，更别说现在比吃糠咽菜可强多了。
然后他转身对马娟道：“马娟，你继续多做几组试验，看看稳定性怎么样。然后你和易师傅准备准备，这台设备接下来需要转场，你们整个组除了做好转场准备之外，还要做好准备，核心骨干要到相关的兄弟厂去支援一段时间。”
接下来的事情，自然就是将设备迁移到1274厂去，在那里，作为关键节点，直接融入到整套的集成电路工艺中。
在这个过程中，不论是制造、安装、调试、使用的课题组骨干成员，都得入驻1274厂，应对各种环境问题和突发状况，一直要到光刻机在1274厂的同志们手上用熟练了，才能撤回来。
两人点头应是，高振东看向各位同志：“那啥，虽然大家都知道了，但我还是正式宣布一下吧，哈哈，GK-61接近式10μm光刻机，成功了！同志们辛苦了！现在先享受一下成功的喜悦吧，中午老规矩，老规矩，大家懂的。”
坚膜完成之后，硅片被再次从头开始，开始了第二次的光刻流程，用的还是那块标准掩模。
显影完成后，二次光刻的光刻胶被固化，多余部分被清除，硅片被送到了显微镜下。
刚刚把硅片表面的清晰显微图像跳出来，马娟就语带欣喜的啊了一声。
“师兄，有了有了，能看出来，精度好高啊！”
马娟一边瞄着显微镜，一边嘴里喊着。
对于套刻精度高这一点，高振东是有所预计的，决定套刻精度的主要就是工件台，而三轧厂的一帮老师傅大发神威，将工件台的定位精度搞到了1.5μm。
而东北光学所的光学系统图形畸变只有1个μm不到，这两者结合起来，套刻精度绝对差不了。
不过估计归估计，在没看到真正结果那一天，谁都不敢彻底把心放下来。
听见马娟的话，高振东哈哈大笑：“来来来，我看看。”
马娟从显微镜下让开，高振东把眼睛凑到显微镜的目镜外，显微镜里甚至能看到他自己的眼睫毛，但他现在明显没有闲心观察自己的睫毛是否好看，急着往视场里看去。
显微镜里，两次光刻的痕迹非常明显，一条叠在另一条上面，重合度非常高。
两次光刻的痕迹，两边各露出来一小部分，这部分的单边宽度，基本上就是套刻误差了，粗粗看去，目测连整个线宽的一小半都不到。
“好！太好了！马娟，你们选取一些典型点位，要覆盖到整个硅片，马上做个比较全面的测量比较。”
另外一个试验人员走了上来，和马娟一起，一边找点，一边测量，一边记录。
时间的相对论在这里体现得淋漓尽致，马娟她们觉得时间过得很快，而等结果的高振东等人觉得时间过得太慢了。
又快又慢的一段时间过去后，试验人员在计算机面前坐下来，开始将数据输入计算机，这种简单统计分析，他们都是直接在源代码里敲数据。
处理算法的C代码早就写好了，现在他们就是在往一个数组里填数据而已。
这种办法，好就好在处理算法可以随时根据需要修改。
键盘声啪啪作响，现场人员的心情反而安定下来，从刚才他们测量中报的数来看，这个结果差不了。
随着最后一个数据输入完毕，马娟启动了编译-运行指令。
算法过于简单，没有带来任何调试上的麻烦，很快，屏幕上就跳出了一个数字。
编过临时程序的人都懂，怎么简单怎么来，这个数字甚至不带任何单位。
“1.97”。
其实小数点后一位就够了，那个没有写出来的单位，是μm。
2μm！
虽然早有所料，但是当这个数字跳出来的时候，高振东还是哈哈大笑了起来。
“哈哈哈……好！太好了！”
这个套刻精度，已经超出了当前所需，PMOS套刻次数少，其实不严格的说，10μm的分辨率下，5μm的套刻精度都是够用的。
现在，高振东可以直接宣布，我们的第一代PMOS工艺集成电路，线宽是10μm。
这个线宽听起来不咋样，但是举个例子就知道它的用处了，DJS-59的原型，那片金色的C8008，它的工艺就是10μm-PMOS！那一小片芯片上，晶体管数量是6000+。
而首个4Kbit（512Byte）的DRAM，工艺是8μm-NMOS，虽然是NMOS，但是并不意味着只有NMOS才能用于和NMOS的最大区别是开关方向相反，而且NMOS开关速度比PMOS要快2.5倍左右。
但是这是61年，PMOS慢点又不是不能用。
可惜那两片芯片出现的时候，高振东还没法锁定兑换的能力，但是这没有关系，还是那句话，行业初期，主打一个简单凑合能用就行，设计的核心难度不大。
DJS-59的晶体管的电路，其实基本上和C8008内是一模一样的，现在高振东要做的，就是把这个结构还原到光刻掩模上去。
不过这是个力气活儿，高振东一个人是搞不成的，太浪费时间了，这个事情，可就落在京城工大这一届的部分大四学生头上了。
原本高振东的考虑是光刻机不敢太乐观，初期预计是50μm左右，后来看到三轧厂的老师傅和东北光学所如此给力，才把SZ61XXX系列芯片头三片改为了20μm。
现在扎扎实实的10μm有望，那不得乐死，就算得先教半年学生，再画上个一年两年的图，那也是一个字儿——值！
而且有了这些基础，能搞的事情，可就多了，比如自动化人的最爱——单片机。
不过不论是CPU化的DJS-59也好，还是单片机也好，都还需要时间，至少得等两样东西。
——集成电路工艺的真正成熟、芯片的完整设计。
尤其是单片机，这东西看起来和通用CPU差不多，但是在当前的运算速度之下，最好使用另外一个结构——哈佛结构。
相对冯.诺依曼结构来说，这个结构的效率更高一些。
这些都是后话，现在的当务之急，是把光刻机投入到集成电路工艺中去，尽快让整条集成电路的工艺成熟，至少先生产出一定数量的基础数字逻辑芯片，让大家用起来。
别看这东西基本全手工，但是产量在这个年代来说并不低了，当然，和后世全自动光刻生产线没得比。
按照一片逻辑电路芯片使用5mm*5mm硅片面积来粗略计算的话，一片130mm晶圆能生产出500枚芯片来。
别看5*5这个面积很小，实际上在10μm工艺下，它几乎能生产类似74全系列的数字逻辑芯片了，大部分数字逻辑芯片最耗费硅片面积的部分，其实是它的线路引出的压接点。
如果说CPU、单片机都还有那么一点遥远的话，那对于大部分常用数字逻辑电路来说，到了这个阶段，制约它的就主要是芯片的设计速度有多快了，毕竟数字逻辑电路这个家族实在是有些庞大。
对于这个事情，高振东倒是早有安排。
穿着防护服，又在超净室内，这让高振东不太方便宣布样机已经成功。
看着玻璃窗外焦急的全体光刻机课题组同志，不忍他们久等的高振东灵机一动，拿起纸笔，写下了三个大字。
“成功了！”
高振东拿起这张纸，对着超净室内和外面的所有同志打着转展示了一圈。
如果说超净室内的同志对于结果已有所预料而显得镇定一些的话，那窗外那批因为信息差而处于未知之中的同志，看见这三个字就欢呼雀跃起来。
“成了成了！”
“终于成功了！”
“这个东西很重要吧，你看高总工都那么着紧。”
“那可不，我估计这个啊，至少又是一个科技奖。”
“没想到我车了一辈子的铁疙瘩，临老来，还能搞科学了。”
“我也没想到啊，叮叮咣咣了一辈子，到现在我都不相信这个东西里面也有我的份儿。”
“你这就是心太小了，你没听上面说嘛，咱们有的是力量。”
“是是是，你心大，那特么你手抖个啥？几十年的老伙计了，谁还不知道谁啊。”
外面的同志们说着笑着，不知道是谁起的头，慢慢的齐声唱起了一首歌来。
“咱们工人有力量，嘿，咱们工人有力量……”
“……”
“改造得世界变呀么变了样，哎嘿！”
“……”
“为了求解放！哎~嘿！哎~嘿！”
“……”
歌声中有男有女，有老有少，有拿铁锤的，也有拿书本的，有的站在机器边，有的身处电脑前……
简洁明快，铿锵有力的歌声在光刻机试制车间中响起，声震四壁。
随着最后一声“嘿！”落下，所有的同志站在一起，看着高振东，热烈鼓起掌来。
高振东满脸喜色，等大家稍微安静下来，他示意试验人员关机收尾，走进隔间脱下防护服。
从超净室中走出来后，高振东安排了一位同志去张罗吃饭的事情，规矩不能破，哪怕只能吃糠咽菜，也得聚一顿，更别说现在比吃糠咽菜可强多了。
然后他转身对马娟道：“马娟，你继续多做几组试验，看看稳定性怎么样。然后你和易师傅准备准备，这台设备接下来需要转场，你们整个组除了做好转场准备之外，还要做好准备，核心骨干要到相关的兄弟厂去支援一段时间。”
接下来的事情，自然就是将设备迁移到1274厂去，在那里，作为关键节点，直接融入到整套的集成电路工艺中。
在这个过程中，不论是制造、安装、调试、使用的课题组骨干成员，都得入驻1274厂，应对各种环境问题和突发状况，一直要到光刻机在1274厂的同志们手上用熟练了，才能撤回来。
两人点头应是，高振东看向各位同志：“那啥，虽然大家都知道了，但我还是正式宣布一下吧，哈哈，GK-61接近式10μm光刻机，成功了！同志们辛苦了！现在先享受一下成功的喜悦吧，中午老规矩，老规矩，大家懂的。”
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